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11本課題在研究過程中，發(fā)展了一種由直線音圈電機(jī)直接驅(qū)動的2自由度笛卡爾坐標(biāo)型用于IC芯片封裝的高速高精度定位裝置。其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)采用直線音圈電機(jī)直接驅(qū)動X、Y工作臺，省去了傳動粉料機(jī)環(huán)節(jié)，而且音圈電機(jī)具有無滯后、..
新聞中心 - 盛誠機(jī)械網(wǎng)絡(luò)部整理 - 2013-5-4 20:12:45
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