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11電機對半導體工藝設備來說是一個理想的解決方案，因為電機直接與被驅動的負載相連，消除了傳統(tǒng)伺服電機系統(tǒng)中通常必須采用的皮帶、滑輪和齒輪箱。零部件數(shù)目的減少也使得機器的總體尺寸減小，生產管理人員就可以在一..
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