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電子工業(yè)用氣體氬技術(shù)指標(biāo) GB/T 16945-1997
電子工業(yè)用氣體氬技術(shù)指標(biāo) GB/T 16945-1997
裝車輸送機(jī) 項(xiàng)目 指標(biāo) 氬純度,10生產(chǎn)線-2,≥ 99.9992 絞龍輸送機(jī) 氫含量,10不銹鋼螺旋輸送機(jī)-6,≤ 1微型螺旋喂料機(jī) 氮含量,10-小型碎石機(jī)6,≤ 5 氧含量,破碎機(jī)10直排篩-6,≤ 0.5 一氧化碳和二氧化碳含量振動篩粉機(jī),10-沖擊式破碎機(jī)6,≤ 0.5 總烴(以甲烷計(jì))含TZD系列臥式振動電機(jī)量,10大傾角波形擋邊輸送機(jī)-6,≤ 電機(jī)振動0.5 水分含量,10移動帶式輸送機(jī)-6,≤ 0.5 顆粒 供需雙方商波狀擋邊輸送帶定 試驗(yàn)方法: 1 氫和氮含量的測定:
1.1 方法:采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定氬中的氫和氮。
1.2 檢測限:氫0.1×10-6(V/V);氮0.5×10-6(V/V)
1.3 儀器參數(shù)
1.3.1 色譜柱:將色譜分析用粒度為0.25~0.40mm的5A分子篩裝入內(nèi)徑4mm,長約3m的不銹鋼管內(nèi),于300℃通氬氣活化3h。或采用等效色譜柱。
1.3.2 載氣:約30mL/min氦氣,氦氣中雜質(zhì)含量比待測組分含量低一個(gè)數(shù)量級。
1.3.3 樣品體積:1.0~3.0mL。
1.3.4 溫度:檢測器及柱加熱箱均為室溫。
1.3.5 標(biāo)樣:含1~5×10-6(V/V)氫的氬,含5~25×10-6(V/V)氮的氬。
1.4 操作步驟
1.4.1 用氣體進(jìn)樣閥進(jìn)標(biāo)樣。
1.4.2 用同樣方法進(jìn)待測樣品。
1.4.3 重復(fù)上述兩條,取兩次平行測定結(jié)果的算術(shù)平均值為測定結(jié)果,單個(gè)值與平均值的相對偏差不得大于10%。
1.4.4 比較標(biāo)樣峰和試樣峰的平均面積,用下式分別計(jì)算氫和氮的含量,其結(jié)果不得超過本標(biāo)準(zhǔn)的上表規(guī)定值。
φi=(φs-Ai)/As
式中:φi--樣品氣中的待測組分i的含量,10-6(V/V);
φs--標(biāo)準(zhǔn)氣中的組分i的含量,10-6(V/V);
Ai--樣品氣組分i的峰面積,mm2(V/V);
As--標(biāo)樣氣組分i的峰面積,mm2(V/V);
當(dāng)半峰寬不變時(shí)可用峰高定量。 2 氧含量的測定
按GB/T6285執(zhí)行。
儀器檢測限:0.1×10-6(V/V)。
標(biāo)樣:氬中含氧1×10-6~5×10-6(V/V)。 3 一氧化碳和二氧化碳含量的測定
按GB/T8984.1執(zhí)行。
儀器檢測限:0.1×10-6(V/V)。
標(biāo)樣:氬中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6~2×10-6(V/V)。 4 總烴(以甲烷計(jì))含量的測定
按GB/T8984.3執(zhí)行。
儀器檢測限:0.1×10-6(V/V)。
標(biāo)樣:氬中含甲烷1×10-6~2×10-6(V/V)。 5 水分含量的測定
按GB/T5832.1或GB/T5832.2執(zhí)行,兩種方法具有同等效力。
儀器檢測限:0.2×10-6(V/V),經(jīng)相應(yīng)檢定規(guī)程檢定合格。 (源自:中國流體機(jī)械網(wǎng))
此文關(guān)鍵字:微型螺旋喂料機(jī) 螺旋喂料機(jī) 喂料機(jī) 破碎機(jī) 沖擊式破碎機(jī) 輸送機(jī) 碎石機(jī) 螺旋輸送 振動篩 裝車輸送機(jī) 螺旋輸送機(jī) 不銹鋼螺旋輸送機(jī)
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